第一百五十九章 生根發芽

重寫科技格局 第一百五十九章 生根發芽

2001年12月11日，滬上微電科長春實驗室將進行一次曝光系統實驗。

之前一再提到過，光刻機最核心的兩個東西是鏡頭和光源，而今天這場實驗的目的，倒不是說直接就搞定了鏡頭光源，這是不可能的，地表最強組合成立才半年，國家項目下來后的大佬加盟更是不過兩個月的時間。

即便2001年的光刻機技術攻堅要比2019年容易很多，但也不至于這么快。今天這個實驗的目的，是為了進一步證明浸沒式光刻機的發展方向是正確的。

之前紀凱論證了浸沒式光刻機的可行性，但更多是屬于理論上的結論。

這就好比林本堅帶著理論找到尼康的時候人家并不搭理他，理論終究是理論，還是需要上升到實際運用的。

所以這次實驗的目的一是進一步證明了方向正確后，可以給大家更大的信心，浸沒式光刻機可以突破現在整個光刻機行業的瓶頸，搞定米國人和霓虹人搞不定的事情，如果這個東西真的可行，對華夏這個領域的科研人員來說意義極其重大。

而在這個基礎上，就可以更放心的投入更大的財力和精力了，特別是想要讓國家投入更多的話。

上午9點，長春實驗室內，有一臺看著明顯要比光刻機粗糙很多的東西。進一步的驗證研究方向的正確性和實際生產出一臺光刻機的最大區別就在于，不需要真的完成芯片的光刻行為，只需要能順利采集一些數據即可。

而這種區別就會帶來設備上的巨大區別，比如精密機械方面，實驗不需要達到納米級的自動化機械水平，你甚至拿手操控都行。

但有些東西還是會有要求的，比如光源質量。

9點整，實驗準備開始，孟謙則繼續翻看徐國華的筆記本。

徐國華的筆記本上記錄的不僅僅只是他的經歷，他之所以跟孟謙說看看自己的筆記本能不能幫到自己，是因為上面還記錄著他這么多年的技術積累。

就比如他參與到公司光刻機項目之后之后...

“2001年9月19日

提升光刻機分辨率的方法有三個，縮短波長，增加數值孔徑，減小K1因子。前段時間，江大帶來的浸沒式光刻機概念，可以大大提升折射率，從而增加數值孔徑。

為了更好的配合全新的浸沒式光刻機概念，我們與長光所合作，在激光器上實現了巨大突破。

我們研發了一種高功率193nm準分子激光器，使用氟氣、氬氣以及氦氣混合氣體作為工作介質，可輸出ArF最大脈沖激光能量424毫焦耳，總功率基本穩定在1。激光器由內徑8.4cm的玻璃鋼圓筒做成，總長94cm。

電極采用張氏均勻場型面電極，電極有效平取寬5mm，電極長80cm，兩電極之間距離2.1cm。”

此時的長春實驗室。

“王院士，供電系統已經準備完畢。”

“開始實驗。”

“2001年11月17日，晴。

王院士的加入讓團隊信心大增，30多名科研人員連續攻堅一個月，終于在光束穩定技術上取得了成果。

此次的光束穩定系統包括光束測量和光束轉向兩大核心功能模塊，在推導了兩個模塊之間的光束傳遞矩陣后，王院長非常大膽的決定搭建光電閉環控制系統，通過引入已知光束偏移量后，數據顯示，系統的指向穩態誤差低于±3μrad，位置穩態誤差低于±0.04mm，系統調整時間小于80ms。

實驗結果令人振奮。”

“2001年11月28日，晴。

由長光所和江大共同組建的擴束系統小組帶來了好消息，全新設計的系統可以滿足光束在520m傳輸光路范圍內不需要進行透鏡間隔調節，實現光斑大小和發散角滿足設計要求，保證目標光束口徑在(28.5±0.5)mm范圍內，X方向發散角為1.2mrad，Y方向發散角為1.84mrad。

該項研究將對光刻機研發產生巨大影響。”

此時的長春實驗室。

“王院士，光源能量穩定，光斑數據正常。”

“打開遮光器。”

“是。”

“2001年12月1日，晴。

今天從江大的李教授提出了一個前沿的研究，針對準分子光源特性，提出了基于光棒和復眼的實現對掩膜面高均勻照明的兩種方法。

針對入射準分子激光強度的波動性和強度分布的隨機性，提出采用陣列型照明模式變換元件對光束進行變換，以實現各種照明模式下光瞳的對稱性和一致性。

研究了相干因子調整系統中可能存在的各種誤差源對相干因子、光瞳橢圓度、光瞳極平衡性、遠心度的影響。”

“2001年12月5日，晴。

清華，燕航以及長光所成功合作研制了全新衍射光學元件，極大的降低了雜散光的影響，全新的算法將為我們自主研發的光刻機提供強有力的技術支持。”

此時的長春實驗室。

“王院士，可以進行數據采集了。”

“開始吧。”

“是。”

“2001年1月8日，晴。

這是意義深遠的一天，物鏡高數值孔徑和極小的系統波像差矛盾一直都是光刻機物鏡領域的最大難點。

現在通過非球面元件和反射元件的配合，我們有望突破這一技術難點，雖然這一次的元件基本是在霓虹國定制的，但解決了上游難題，下游元件的自研只是時間問題。”

通過徐國華的筆記本，孟謙基本了解了光刻機項目這半年的研發情況和主要成就，雖然只有半年的時間，還無法實現更全面的自研自產，但一個又一個核心技術的突破，是華夏科研力量最好的展現，

光刻機設計的核心技術實在太多了，光是一個曝光系統涉及的專利就能有上千個，曾經那一世，這些核心技術基本上跟華夏都沒什么關系。

但現在，在華夏的土地上，科研力量正在光刻機領域生根發芽。

光刻機這塊大骨頭，正在一點一點的被華夏科研人員啃食。

這只是半年的成就，一年后，兩年后，五年后呢？

孟謙內心翻滾，曾經那一世，他沒有機會也沒有資格見證華夏老一輩科研者的實力，這一世，他是何其幸運，可以親眼目睹。

中午，送餐的人來了，孟謙小心翼翼的將徐國華的筆記本放回到抽屜里。

“孟總，幾點了？”這是徐國華今天第五次問這個問題了。

“11點半。”孟謙把菜盒打開，“至少得到晚上才能出結果吧，徐老師再耐心等等。”

午飯后，一晚沒睡的孟謙迷了一覺，下午三點，因為被護士查房吵醒，孟謙簡單洗了把臉繼續等待。

傍晚五點，孟謙跟徐國華終于等來了兩個風風火火的腳步聲。

“孟總，老徐！”梁志國一進門，臉上已經寫滿了答案。

孟謙懸了一天的心終于放下，“梁老師說說具體情況吧。”

梁志國坐到病床旁，一臉的亢奮，“浸沒式光刻機這個方向應該確實沒有錯，而且從今天的實驗數據分析來看，浸沒式光刻機極有可能把光刻機工藝向前推34代！”

徐國華大為震驚，孟謙則配合著震驚一下，“接下去的研發計劃是什么？”

“挖人！”

“嗯？什么意思？”孟謙不是很理解梁志國的意思。

梁志國解釋道，“我們現在把能整合的力量都整合起來了，但這也就暴露了我們在某些方面的人才空白現實，光刻機的細分領域太多，雖然不可能全部自研，但幾個相對核心的領域我們不能放手。

所以對于一些人才空白的核心領域，現在從頭開始培養肯定來不及了，只能靠挖人。”

“你們打算去哪挖？”

“我們已經整理過各大高校的校友資源了，這些空白領域在國外都有些對應的人才。”

孟謙聽明白了梁志國的意思，“可他們要回國早回國了吧，叫的回來么？”

“只要有用武之地，自然會有人回來。”

孟謙點頭，梁志國都這么說了，他也不多質疑，“對了，有一件事情梁老師記得去辦一下。”

“什么？”

“申請專利。”

“放心，我們這次的研究都已經申請了專利。”

“不僅僅只是我們的研究，而是圍繞我們的研究，把能申請的專利都申請了，我要的效果就是以后別人想搞浸沒式光刻機，就是想用水都得得到我的點頭！”

“額...”梁志國跟朱衛軍對視了一眼，“孟總，這不是...搞技術流氓么？”

“對啊，咱以后的主要對手就是個流氓，跟流氓競爭，難不成還跟他講道理？他能講道理見了鬼了。

你們盡管耍流氓去，我是老板，以后世人要罵，隨便罵我，反正我無所謂。”

梁志國跟朱衛軍又對視了一眼，用眼神交流了一會兒后，最終決定就按孟謙說的去做。

就在這時，門外又傳來一陣腳步聲，梁志國的學生拎著幾個菜和三瓶二鍋頭進門。

梁志國接過酒菜，笑道，“不管怎么說，今天是個大喜的日子，整點？”

“好啊。”孟謙自然不拒絕。

只是徐國華一臉委屈道，“老梁，你故意饞我是不是？”

“哈哈哈，你那份我替你喝了。”

雖然表面上表現的還算平靜，但事實上四個人內心的翻滾都是強烈的，這酒一喝就有點喝高了。

晚上梁志國的學生留下來陪徐國華，三人則一起回酒店休息去了。

徐國華自然是一點酒都沒沾，在梁志國的學生去送他們三人時，取出了抽屜里的筆記本，用筆寫道。

“2001年12月12日，晴。

我國光刻機領域取得了跨時代的突破...”