第866章

1991從芯開始 第866章

萬千的目光再一次刷地射向了山上一郎。

但他毫不在乎。

一個天才的設計方案？就能把arf193nm的波長變成134nm？

鬧著玩呢這是？

臺上，蘇遠山也在看著山上一郎，他知道這位老兄進尼康就在磨玻璃，對光源系統極為熟悉——反正蘇遠山在光學領域，在對方面前就是小學生級別。

但蘇遠山毫不在乎，也很能理解山上一郎為什么會在這種場合失態。

別說現在猛地聽到遠芯保密了三四年的技術，就算是歷史上，當林本堅拿著詳細的論證找上門的時候，尼康佳能都沒正眼看人家一眼，并認為這家伙純粹就是個瘋子，讓臺積電好好管一管，找點藥給他吃。

也就是asml當時人小勢微，雖然被intel拉著進了euv聯盟畫了大餅，但在市場上，依舊不敵霓國人，必須彎道超車才能贏得了的樣子……所以最終才選擇了信任林本堅。

但蘇遠山也并沒有回答山上一郎。

因為他看到，和山上一郎只隔著一個作為的李明柳已經看了過去。

“immersion。”李明柳身子前傾了一點，把自己暴露在了山上一郎的視線中，并給出了個英文單詞。

“什么？”聽到聲音，山上一郎瞬間轉頭望向李明柳。

“immersion，浸潤式光刻。”在遠芯諸多技術大佬中，李明柳向來以嚴肅著稱，常年執掌遠芯第二大研發基地的他如今身上早就多了幾分所謂的“威嚴”，凡事喜歡點到為止，不想說過多。

惜字如金的兩句后，李明柳便恢復了坐姿。

臺上，蘇遠山也只是一笑：“消息我是帶到了，信不信那就……好吧，其實我是相信的。”

說完后，蘇遠山離開講臺，對臺下微微鞠躬，然后退場。

直到這時，就如同一盆冰水上丟了一坨燒紅的鐵塊，整個會場瞬間便沸騰了起來。

——和霓國人不一樣，國內半導體行業對蘇遠山有著近似迷信一般的信賴，在先前短暫的懵懂狀態后，此刻立刻陷入了興奮和激動中，會場剎那間便變成了菜市場。

李明柳的聲音說得并不大，靠后的與會人員并不能聽清，但不妨礙他們挨個拍著前排的肩膀一路問下來。

在一片嘈雜中，山上一郎重新坐了下來。

他腦子慢慢恢復了清醒。

他理智上無法接受，但理智又告訴他，這……極有可能是真的。

因為蘇遠山，沒有必要在這個時候這個場合來騙人。

——因為一旦被證實是假消息，那么非但是蘇遠山個人的聲譽，宏芯的聲譽，乃至整個內地半導體行業的聲譽，都將受到毀滅性的倒塌。

浸潤式光刻？

難道放水里？

瘋了吧！

這時，蘇遠山的聲音透過幾個座位慢慢傳來。

“通過在鏡頭與襯底之間加入于玻璃折射率接近的水，減小物鏡射出的光折射角，從而提升物鏡的孔徑，提高分辨率。根據cdk1λ/na，用水替代空氣后，就相當于193

波長等效縮短到134

“而且……它不需要重新研制光刻膠。”

蘇遠山看著在自己身旁圍成一圈的眾人，嘴角微微一翹。

“具體的技術和消息，還關注宏芯的相關發布會。”

五個小時后，宏芯以浸潤式光刻技術攻克193nm光源的消息瞬間傳遍了整個半導體行業。

相比行業消息的傳播速度，新聞向來要晚一步，但也是在第二天晚上，新聞聯播也正式公布了世界上最先進的光刻機誕生在國內，并成功通過專家組驗收的消息。

一時間，宏芯的大門被數不清的媒體踏破，采訪的同時，這些媒體也紛紛擔起了科普責任，在各個渠道為民眾普及起了什么叫光刻機，什么叫晶圓廠，一顆中央處理器又是怎么來的……

至于蘇遠山，則拒絕了所有的采訪邀請，并在半導體峰會結束的第二天便啟程前往了硅谷。

浸潤式光刻的榮耀就留給該享受榮耀的人好了。

硅谷，山間別墅。

卡莉風風火火地走進大門，她絲毫不介意蘇遠山哈欠連天，甚至還穿著拖鞋。便一屁股坐在他的對面，盯著蘇遠山布滿血絲的眼睛問：“boss，是真的嗎？”

蘇遠山忍了個哈欠，微笑道：“你就算不相信我們的媒體，你也要相信我啊……馬上我們就能拿出65nm的制程工藝，到時候還能造假不成？”

“……”卡莉一陣無語。

她當然愿意相信蘇遠山，但她問蘇遠山，并不是不相信的問題，而是……她覺得太不可思議。

“怎么辦到的？林本堅的團隊是主要團隊嗎？”

“是，但怎么辦到的……我還真不知道。他們研發了三年，攻克了數百個技術節點，嗯……也花了不少錢。”

“量產呢？”卡莉馬上問道了關鍵。

“大概明年就能推出量產型號。”蘇遠山知道卡莉想問什么，他微微一笑道：“卡莉，我不知道你對晶圓廠那一套技術了解多少……但我可以告訴你，根據目前的推測，浸潤式光刻技術的極限甚至可以到7nm線寬——如果euv無法被攻克，那么在未來很長一段時間內，如何依靠工藝來降低制程，就是晶圓廠的最主要任務。”

“可以到7nm？”

“嗯，多重曝光就行。”

頓了頓，蘇遠山正色道：“卡莉，你一定要有一個清醒的認識，論制程推進，再沒有任何人比德遠更有實力和魄力。”

卡莉抿了抿嘴，她倒是很想反駁一下……最后發現什么都反駁不了。

因為這是事實。

她是親自參與了at&t與華晶的晶圓廠設備出售一案——而那時，德遠還只是工地！

可現在才幾年？德遠便從0.5微米一路追趕到0.35，0.25，0.13……其速度之快，堪稱奇跡。

幾秒的冷場，便讓蘇遠山終于忍不住了，他捂著嘴，打了個哈欠。

“卡莉，你看看幫我約一下桑德斯老爺子。”

卡莉回過神來，略一思索便點頭，隨后問道：“三顧茅廬，這是你的最后一顧？”

“哈哈，是的。對了，最好約到發布會之后，我這兩天得好好休息一下才行。”

“說起來，桑德斯老爺子也確實該退休了。”

蘇遠山一邊伸著懶腰，一邊笑道。